路边社透露:5nm国产FAB全线拉通,良率远超预期的高。从设备到材料全部国产,八个月全线调试成功,马上进入量产。 ​​​5nm国产FAB的几大特点:良率70%以上;使用国产DUV;配套国产光刻胶等材料;调试时间短;产能比较大。这条线的主要意义是国产替代,技术上没有突破,因为中芯国际在2023年就量产了N ​​​https://mapp.api.weibo.cn/fx/222bb1bd7f9dbf1774dc4adb064d8006.html
 
 
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